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真空无氧烘箱

简要描述:半导体封装工艺中会用到引线框架,引线框架作为半导体芯片载体,其材料中主要是铜等易氧化的元素,铜在高温的环境中极易生成CuO.在后道的回流焊中会发生断层,断裂的现象。所以引线框架封装需要在厌氧的环境中烘烤,固化。
由于一些特殊的场合,需要真空环境,所以,本公司推出真空环境下的厌氧烘箱,即真空无氧烘箱。
厌氧烘箱需要在充氮环境里进行加热加温,所以,又称为:厌氧充氮烘箱

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-11-15
  • 访  问  量:877

详细介绍

半导体封装工艺中会用到引线框架,引线框架作为半导体芯片载体,其材料中主要是铜等易氧化的元素,铜在高温的环境中极易生成CuO.在后道的回流焊中会发生断层,断裂的现象。

所以引线框架封装需要在厌氧的环境中烘烤,固化。

由于一些特殊的场合,需要真空环境,所以,本公司推出真空环境下的真空无氧烘箱

厌氧烘箱需要在充氮环境里进行加热加温,所以,又称为:厌氧充氮烘箱

真空厌氧烘箱.jpg


半导体封装工艺中会用到引线框架,引线框架作为半导体芯片载体,其材料中主要是铜等易氧化的元素,铜在高温的环境中极易生成CuO.在后道的回流焊中会发生断层,断裂的现象。

所以引线框架封装需要在厌氧的环境中烘烤,固化。

由于一些特殊的场合,需要真空环境,所以,本公司推出真空环境下的厌氧烘箱。

厌氧烘箱需要在充氮环境里进行加热加温,所以,又称为:厌氧充氮烘箱

一、真空厌氧烘箱基本功能

上料抽真空常温升温达到设定温度(超温会报警)保持恒温并开始计时时间到后停止加热并报警自动降温下料。

二、真空无氧烘箱主要技术参数

序号

项目

具体指标

备注

1

机器尺寸

1080mmD*890mm(W)*1710mm(H)


2

内箱尺寸

500mm(D)*500mm(W)*980mm(H)


3

温度范围

至少室温+20℃~+350℃可调


5

升温速率

3-5/min


6

进气量

协商


7

含氧量

协商


8

温度控制器显示精度

0.1


9

抽气

协商


10

温度波动度

±1



真空度

协商


11

控温仪表

7寸触摸屏


12

降温方式

水冷


13

温度均匀度

≤±2.0% (空载)


14

气体

可充氮气或压缩空气


15

控制回路保护

短路及过载保护


16

循环风方式

水平循环运风


三、半导体烘箱基本要求

1、电源:380V/220V50Hz~60Hz,配有相序保护器,结构件接地保护。

2、氮气要求:0.4-0.6MPa,自带分级过滤器。

四、设备控制系统

1、采用 PID 自动计算输出功率的大小;越接近温度设定值时,输出功率越小,以达到恒温控制的目的,并可节能省电。

2、当实际检测温度超过超温保护温控器设定值时,自动切断加热电源,起到双重保护功能。

3、定时分为 2 档(手动/自动):选择手动时为立即开始计时;选择自动时为温度必须达。到设定温度值时才开始计时,时间到达到后有声光报警并自动停机。

4、升温降温:仪表程式编辑控制,温度范围可设置,降温、升温、恒定、时间。

5、内烘箱:表面平整,不可有漏气现象。

6、外壳温度:室温150℃以内,外壳温度不高于室温+20℃,接缝处除外。

7、外部材料:采用冷轧钢板表面静电喷塑处理、板材厚度为1.2mm;

8、保温材料:具有不可燃烧,隔热性强,采用玻璃纤维保温棉、 六面保温。

9、密封条采用硅胶胶条制作,可耐温不变形。

10、内胆材料:304不锈钢板、厚度为5mm、胆内清洁、防生锈、耐腐蚀。

11、每个箱体配有3个栅栏式层架。

12、门与内胆采用双层密封形式,加强密封效果。

13、温控器采用PVSV显示功能,自带 PID 自动整定演算输出,控制精准。

14、时间控制采用 LED 数显时控器,可设置最大时间为 99 小,单位可以任意切换为小时、分钟、秒。

15、超温保护温控器采用宇电能型温控器,PV SV LED 显示功能,当温度超过超温保护温控器设定值时,自动切断加热电源。

16、箱体侧面设有排气。

17、结构件安全接地保护。

18、配带蜂鸣器的报警灯。

19、加热管控制采用阳明 SSR 固态继电器控制每组发热管。

20、可调节气体流量,使炉内温度更加均匀。

21、控制程序制作简单。

22、设有进氮气口,配电磁阀控制,每组流量计可手动调整充气流量、并可自动控制流量计开启数量。

23、打开电源开关后,机器自检,正常时指示灯塔显示绿灯,如果出现异常,指示灯塔显示红灯。

24、配有 USB 接口,带有数据导出功能、温控曲线监测。

25、故障诊断简单。

五、设备工作环境

1、环境温度:10~40℃;

2、环境湿度:10%~85%RH

六、无氧烘箱装配要求

1、走线整齐、方便、美观、与设备连线越短越好、中间接头连接牢固、且不妨碍今后维工作。

2、所有设备预留设备接地位置。

 

由于真空厌氧烘箱制作工艺复杂,本网站所发布资料仅供参考,具体技术要求请来电来函我司详谈。


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